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公开(公告)号:CN1933920A
公开(公告)日:2007-03-21
申请号:CN200580009576.3
申请日:2005-03-17
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: B05C11/10 , B05C5/0254 , B05D1/26 , G02F1/133516
Abstract: 提供一种不仅可抑制吐出波动,得到膜厚均匀性良好的薄膜涂膜,而且吐出应答性优良的涂覆方法以及涂覆装置。在涂液供给装置(例如液压泵3)到涂覆装置(例如喷嘴6)之间,设置缓冲吐出波动的部件(部位5)。由液压泵产生的吐出波动,利用配置于波动缓冲部位5的内部的缓冲波动的部件5a的体积变动而被缓冲,从而从墨菊喷嘴得到被抑制了波动的定量吐出。
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