公开(公告)号：CN1177751A

公开(公告)日：1998-04-01

申请号：CN97121389.5

申请日：1997-09-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 铃木笃 ,  相本真由美 ,  久保田隆 ,  秋田雅典 ,  伊藤釭司

IPC: G03F7/00

CPC classification number: C09K13/02 ,  C08J7/12 ,  H05K1/0346 ,  H05K3/002 ,  H05K2201/0154 ,  H05K2203/0793 ,  Y10T428/258 ,  Y10T428/31678

Abstract: 包括羟烷基胺、碱金属化合物和水,或包括脂族醇,脂族胺,碱金属化合物和水的树脂刻蚀溶液,和使用该树脂刻蚀溶液来刻蚀在一侧面或两侧面上形成的光刻胶图案或金属层图案的聚酰亚胺膜。

公开(公告)号：CN1119700C

公开(公告)日：2003-08-27

申请号：CN97121389.5

申请日：1997-09-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 铃木笃 ,  相本真由美 ,  久保田隆 ,  秋田雅典 ,  伊藤釭司

IPC: G03F7/00

CPC classification number: C09K13/02 ,  C08J7/12 ,  H05K1/0346 ,  H05K3/002 ,  H05K2201/0154 ,  H05K2203/0793 ,  Y10T428/258 ,  Y10T428/31678

Abstract: 包括羟烷基胺、碱金属化合物和水，或包括脂族醇，脂族胺，碱金属化合物和水的树脂刻蚀溶液，和使用该树脂刻蚀溶液来刻蚀在一侧面或两侧面上形成的光刻胶图案或金属层图案的聚酰亚胺膜。