公开(公告)号：CN100570342C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN03816174.5

申请日：2003-07-08

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 松村淳一 ,  林睦

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8908

Abstract: 一种光学测定装置，包括：表面光用传感器(5)，由激光光源(2)以规定的入射角向透明测定对象物(1)的表面照射光束，使从透明测定对象物(1)的表面、背面产生的表面光、背面光通过成像光学系统(3)成像，在透过半反射镜(4)的表面光的成像位置上配置受光面；背面光用传感器(6)，被配置成使受光面位于由半反射镜(4)反射的背面光的成像位置；表面用测定数据保持部(7)，把来自表面光用传感器(5)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的表面对应的二维光学测定数据；背面用测定数据保持部(8)，把来自背面光用传感器(6)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的背面对应的二维光学测定数据；以及表面背面数据生成保持部(9)，把两光学测定数据作为输入进行表面背面判定处理，生成和保持仅与透明测定对象物(1)的表面对应的表面数据和仅与背面对应的背面数据。由此，不会增加扫描时间，可提高被检测面的异物检测精度，而且，不仅可测定表面的状态，而且可测定背面的状态。

公开(公告)号：CN1666100A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN03816174.5

申请日：2003-07-08

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 松村淳一 ,  林睦

IPC: G01N21/958 ,  G01M11/00 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/958 ,  G01N2021/8908

Abstract: 一种光学测定装置，包括：表面光用传感器(5)，由激光光源(2)以规定的入射角向透明测定对象物(1)的表面照射光束，使从透明测定对象物(1)的表面、背面产生的表面光、背面光通过成像光学系统(3)成像，在透过半反射镜(4)的表面光的成像位置上配置受光面；背面光用传感器(6)，被配置成使受光面位于由半反射镜(4)反射的背面光的成像位置；表面用测定数据保持部(7)，把来自表面光用传感器(5)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的表面对应的二维光学测定数据；背面用测定数据保持部(8)，把来自背面光用传感器(6)的输出信号和支撑机构的动作信息作为输入，生成和保持与透明测定对象物(1)的背面对应的二维光学测定数据；以及表面背面数据生成保持部(9)，把两光学测定数据作为输入进行表面背面判定处理，生成和保持仅与透明测定对象物(1)的表面对应的表面数据和仅与背面对应的背面数据。由此，不会增加扫描时间，可提高被检测面的异物检测精度，而且，不仅可测定表面的状态，而且可测定背面的状态。