公开(公告)号：CN102437076B

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201110277138.2

申请日：2011-09-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 内泻外茂夫 ,  奥田大辅 ,  冈本俊一 ,  宫岛勇也 ,  姬野贵正

IPC: H01L21/677 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。

公开(公告)号：CN102437076A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110277138.2

申请日：2011-09-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 内泻外茂夫 ,  奥田大辅 ,  冈本俊一 ,  宫岛勇也 ,  姬野贵正

IPC: H01L21/677 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。