公开(公告)号：CN104649015B

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201410639844.0

申请日：2014-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  奥田哲也

IPC: B65G54/00

Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置，该基板浮起装置能够始终使基板以一定的浮起高度浮起。基板浮起装置(1)具有：浮起板(10)，其具有多个喷出口(11)和抽吸口(12)；正压供给源(20)，其对喷出口(11)供给气体；正压配管(21)，其连接喷出口(11)和正压供给源(20)；负压供给源(30)，其对抽吸口(12)供给抽吸力；以及负压配管(31)，其连接抽吸口(12)和负压供给源(30)，其中，在正压配管(21)和负压配管(31)上设置有缓冲罐(24)和缓冲罐(34)。

公开(公告)号：CN103662694A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310372965.9

申请日：2013-08-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  森俊裕 ,  奥田哲也

IPC: B65G35/00

Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。

公开(公告)号：CN104649015A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201410639844.0

申请日：2014-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  奥田哲也

IPC: B65G54/00

CPC classification number: B65G49/065

Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置，该基板浮起装置能够始终使基板以一定的浮起高度浮起。基板浮起装置(1)具有：浮起板(10)，其具有多个喷出口(11)和抽吸口(12)；正压供给源(20)，其对喷出口(11)供给气体；正压配管(21)，其连接喷出口(11)和正压供给源(20)；负压供给源(30)，其对抽吸口(12)供给抽吸力；以及负压配管(31)，其连接抽吸口(12)和负压供给源(30)，其中，在正压配管(21)和负压配管(31)上设置有缓冲罐(24)和缓冲罐(34)。

公开(公告)号：CN103662694B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201310372965.9

申请日：2013-08-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  森俊裕 ,  奥田哲也

IPC: B65G35/00

Abstract: 本发明提供一种基板浮起装置和基板浮起量测量方法，能够将基板的浮起量始终准确地计算和控制。基板浮起装置（1）使基板浮起，该装置包括浮起单元（2）和解析装置（21），该浮起单元包括与浮起的基板（W）背面相对而置的对向面（14），且将基板浮起至对向面上方，该解析装置计算从该对向面浮起的基板的浮起量；其中，在该对向面下方进一步设置有向输送浮起单元上浮起的基板发射光的光反射型高度测量器（12），所述浮起单元包括贯通孔（15）和板体状基准板（13），该贯通孔使从高度测量器发射的光和在基板上反射后入射到高度测量器的光通过，该基准板设置在通过该贯通孔从高度测量器向基板发射的光的路径上且反射和透射一部分光。