公开(公告)号：CN1721861A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510084702.3

申请日：2000-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  和田浩光 ,  村井富士夫 ,  三村浩一 ,  秋田雅典

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/13452 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/073 ,  G01R31/2886 ,  G02F1/1309 ,  Y10T29/49117

Abstract: 一种探测装置，它具备检测设备10、中间基板3以及探测基板4，检测设备10与中间基板3的基端侧电气连接，中间基板3的前端侧与探测基板4的基端侧电气连接，探测基板4的前端侧与检测对象基板电气连接，其中，对于一个中间基板3电气连接多个探测基板4。由于当特定的探测基板4损伤时，能够仅交换该特定的探测基板4而继续使用其他探测基板4，故很经济。

公开(公告)号：CN1390305A

公开(公告)日：2003-01-08

申请号：CN00815632.8

申请日：2000-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  和田浩光 ,  村井富士夫 ,  三村浩一 ,  秋田雅典

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  G01R31/02 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/13452 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/073 ,  G01R31/2886 ,  G02F1/1309 ,  Y10T29/49117

Abstract: 一种探测装置,它具备检测设备10、中间基板3以及探测基板4,检测设备10与中间基板3的基端侧电气连接,中间基板3的前端侧与探测基板4的基端侧电气连接,探测基板4的前端侧与检测对象基板电气连接,其中,对于一个中间基板3电气连接多个探测基板4。由于当特定的探测基板4损伤时,能够仅交换该特定的探测基板4而继续使用其他探测基板4,故很经济。

公开(公告)号：CN1216293C

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN00815632.8

申请日：2000-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  和田浩光 ,  村井富士夫 ,  三村浩一 ,  秋田雅典

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/28 ,  G01R31/02 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/13452 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/073 ,  G01R31/2886 ,  G02F1/1309 ,  Y10T29/49117

Abstract: 一种探测装置，它具备检测设备10、中间基板3以及探测基板4，检测设备10与中间基板3的基端侧电气连接，中间基板3的前端侧与探测基板4的基端侧电气连接，探测基板4的前端侧与检测对象基板电气连接，其中，对于一个中间基板3电气连接多个探测基板4。由于当特定的探测基板4损伤时，能够仅交换该特定的探测基板4而继续使用其他探测基板4，故很经济。

公开(公告)号：CN100516887C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200510084702.3

申请日：2000-11-13

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  和田浩光 ,  村井富士夫 ,  三村浩一 ,  秋田雅典

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/02 ,  G01R31/28 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/13452 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/073 ,  G01R31/2886 ,  G02F1/1309 ,  Y10T29/49117

Abstract: 一种探测装置，它具备检测设备10、中间基板3以及探测基板4，检测设备10与中间基板3的基端侧电气连接，中间基板3的前端侧与探测基板4的基端侧电气连接，探测基板4的前端侧与检测对象基板电气连接，其中，对于一个中间基板3电气连接多个探测基板4。由于当特定的探测基板4损伤时，能够仅交换该特定的探测基板4而继续使用其他探测基板4，故很经济。