公开(公告)号：CN119457484A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411790882.6

申请日：2024-12-06

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 何家华 ,  朱雷 ,  孙世旭 ,  孙权权 ,  付杰 ,  秦声 ,  蔡晓江

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/70

Abstract: 一种分光束多焦点的超快激光加工装置及方法，涉及透明硬脆材料激光切割领域，包括超快激光器、第一分束镜、第一二向色镜、第一光阑、反射镜、第二二向色镜、第二光阑、第一聚焦透镜组和第二聚焦透镜组；超快激光器发出的激光在第一分束镜下分成能量相等的透射光和反射光，透射光透过第一分束镜经第一二向色镜反射穿过第一光阑至第一聚焦透镜组形成第一加工光路；反射光由第一分束镜反射至反射镜，再经反射镜至第二二向色镜，再反射穿过第二光阑由第二聚焦透镜组形成第二加工光路；样件设置于六自由度平移台，六自由度平移台带动样件在第一聚焦透镜组和第二聚焦透镜组之间移动；电控平移台带动第二聚焦透镜组移动。实现大厚度透明材料高效切割的目的。