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公开(公告)号：CN1699140A
公开(公告)日：2005-11-23
申请号：CN200510027270.2
申请日：2005-06-29
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明涉及一种电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳。包它括微致动机构和微夹持机构，所述的微致动机构和微夹持机构是由一个竖直长方形基底上淀积多晶硅结构层所构成的两个多晶硅微机械机构；所述的微致动机构为电热致动机构。本发明的整体体积较小，可与集成电路制作工艺相兼容；具有较大的驱动力，能够保证微夹钳工作时具有持续、稳定的夹持力。本发明在医疗卫生机械、生物科技仪器领域中，具有较大的应用前景。
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