公开(公告)号：CN107544012A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201610469520.6

申请日：2016-06-24

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 陆宇 ,  张佩佩 ,  程玉华

IPC: G01R31/28 ,  G01R31/303 ,  G01R31/307 ,  G01R31/311

Abstract: 本发明提出一种多通道显微镜半导体综合测试系统，是将红外发光显微技术（EMMI）、激光束诱导电阻率变化测试技术（OBIRCH）、微探针检测技术、扫描电子显微镜技术（SEM）结合在一起形成一种多通道显微镜半导体综合测试系统。利用OBIRCH方法，可以有效地对电路中缺陷定位，如线条中的空洞、通孔下的空洞、通孔底部高阻区等；也能有效的检测短路或漏电，是发光显微技术的有力补充；微探针检测技术是以微探针快捷方便地获取IC内部电参数值，如工作点电压、电流、伏安特性曲线等。本系统可进行多种失效测试技术，减少测试设备，测试步骤少，操作简单、方便。

公开(公告)号：CN107543044A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201610463899.X

申请日：2016-06-24

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 陆宇 ,  张佩佩 ,  程玉华

IPC: F21K9/238 ,  F21V29/83 ,  F21Y115/10

Abstract: 本发明提供了一种集成LED照明驱动与控制电路的一体化灯头，它是在灯头中，驱动电路和灯头集成在一起，外观看起来就只有灯头状，留出两条输出电源线与LED灯珠或灯条连接。其特征在于：整体LED灯分为上灯罩，下灯头和中间的灯板或灯条，一体化灯头是将驱动与控制电源的芯片外围电路放在灯头里边，驱动与控制电源的输入线一端固定在灯头顶端，一端与灯头外壳连接，用来连接外部电源。相比较传统LED灯驱动电路和灯头集成在一起，空留区域注入了固封导热胶增加了LED灯的散热效果，更加省略了驱动电源与灯头的安装步骤，进一步简化结构、组装过程更加简单，更加符合大规模批量化生产，降低了成本，也使得用户使用更加方便、安全。

公开(公告)号：CN108666191A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201710211428.4

申请日：2017-03-31

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 张佩佩

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  G01R31/28

CPC classification number: H01J37/12 ,  G01R31/2851 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明涉及一种非接触式电子探针探测显微镜成像集成系统，所述显微镜成像集成系统包括电子源系统，刻蚀用离子源系统，高压电源系统，电子光学系统，离子束偏转系统，电子束偏转系统，静电透镜系统，磁透镜驱动系统，真空系统，样品台系统，探测器系统，数据采集系统和图像重建系统，所述电子源系统包含灯丝室、灯丝座、发叉式钨灯丝和三极式静电透镜，所述灯丝座设置有可调节装置。所述显微镜成像集成系统在芯片工作过程中对某个区域进行实时显微测量，从而对芯片的某个具体工作模块实现实时监控并分析其微系统功能，为微电子芯片设计人员提供了一种有效的设计纠错分析手段。

公开(公告)号：CN107544013A

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201610469534.8

申请日：2016-06-24

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 陆宇 ,  张佩佩 ,  程玉华

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明提出的AEC-Q100复合应力测试机，是将加速环境应力测试、加速寿命模拟测试和封装凹陷整合测试结合在一起的一种AEC-Q100复合应力测试机。在测试过程中，只需要一台测试设备，就可以同时测试多种应力测试，测量、操作方法比较简单,由于多种应力测试同时经行，耗费时间也同时减小。测试结果能同时反映芯片实际不同的受力情况,是进行集成电路应力测量的有力工具。

公开(公告)号：CN107462752A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201610390501.4

申请日：2016-06-06

Applicant: 上海北京大学微电子研究院

Inventor： 陆宇 ,  张佩佩 ,  程玉华

IPC: G01R1/28

CPC classification number: G01R1/28

Abstract: 本发明提出一种用于ESD测试的人体放电模型（HBM）信号发生电路，以提高产生激励波形的质量。该结构包括：直流高压电源、继电器、高压滤波器、电阻电容、外接测试设备组成。直流高压电源串接一个限流电阻，再接继电器，继电器一端接电容器，电容器接地构成回路，一端接1.5KΩ电阻，再接测试设备，最后接地构成回路。本发明提出的HBM信号发生电路是在传统的HBM测试电路中添加高压滤波器。用来减小HBM测试机台产生的激励波形存在杂波的幅度，或激励波形产生畸变的情况，使产生的激励失真波形更加平滑，与标准的激励波形更加符合，更加准确的给出ESD测试结果。