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公开(公告)号：CN102191463B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201110065635.6
申请日：2011-03-14
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为CeO2粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为MgO或CaO中的任意一种粉末，或者选自ZnO、MgO和CaO中的两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102965620A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210269938.4
申请日：2012-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜的溅射靶及其制造方法、利用该靶得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片以及层叠片。本发明的溅射靶，其特征在于，由将氧化锌（ZnO）和氧化铝（Al2O3）作为主要成分的烧结体构成，烧结体的相对密度为95%以上，氧化锌（ZnO）与氧化铝（Al2O3）的摩尔比为50：50～95：5。
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公开(公告)号：CN102433532A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110299927.6
申请日：2011-09-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/08 , H01L31/048 , H01L51/52 , H01L51/54 , B32B9/00
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～90∶95～10，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102433528A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110281125.2
申请日：2011-09-21
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: C23C14/00 , C23C14/08 , C04B35/453 , B32B9/04 , C08J5/18
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为Y2O3粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102383090A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110235041.5
申请日：2011-08-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为ZnO粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102191462A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110065628.6
申请日：2011-03-14
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为Fe2O3粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102191461A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110045986.0
申请日：2011-02-23
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为SiO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为选自ZnO、MgO和CaO中的一种粉末或两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102628155B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201210008345.2
申请日：2012-01-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种透明性及气体遮断性优异的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。本发明的薄膜的制造方法，其特征在于，使用由第1氧化物构成的升华性蒸镀材和由与该第1氧化物不同种类的第2氧化物构成的升华性蒸镀材，利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法，在基材上形成由第1氧化物和第2氧化物构成的氧化物薄膜。
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公开(公告)号：CN102312193B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201110179523.3
申请日：2011-06-22
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供了一种薄膜形成用蒸镀材及具备该薄膜的薄膜片以及层叠片，所述蒸镀材适于形成透明性及气体遮断性优异的薄膜。一种混合第1氧化物粉末和第2氧化物粉末而成的蒸镀材，其特征在于，第1氧化物粉末为MgO粉末，第1氧化物粉末的第1氧化物纯度为98％以上，第2氧化物粉末为ZnO粉末，第2氧化物粉末的第2氧化物纯度为98％以上，蒸镀材由含有第1氧化物粉末和第2氧化物粉末的颗粒构成，蒸镀材中的第1氧化物与第2氧化物的比率为5～85∶95～15，而且颗粒的碱度为0.1以上。
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公开(公告)号：CN102628158A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210008509.1
申请日：2012-01-12
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种透明性及气体遮断性优异的薄膜的制造方法、适合形成该薄膜的共蒸镀用蒸镀材、通过该方法得到的薄膜、具备该薄膜的薄膜片及层叠片。本发明的薄膜的制造方法，其特征在于，使用由第1氧化物构成的升华性蒸镀材和由第2氧化物构成的熔融性蒸镀材，利用通过真空成膜法同时蒸镀的共蒸镀法，在基材上形成由第1氧化物和第2氧化物构成的氧化物薄膜。
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