公开(公告)号：CN1443027A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN03120228.4

申请日：2003-03-05

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 中野真吾 ,  神野浩 ,  中井正也

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/14 ,  H01L33/00

CPC classification number: H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/001

Abstract: 一种制造有机EL显示器的方法，其中阻止该有机EL器件的被促进的性能衰退，该衰退是由该有机EL器件形成期间在空穴传输层和发光层之间以及发光层和电子传输层之间产生的分界面引起的。该发光层的材料从第一汽化源被汽化。此时，该第一汽化源被从玻璃衬底的一端移动到另一端。结果，该发光层均匀地在该玻璃衬底上形成。在该发光层的形成完成后，该电子传输层的材料从第二汽化源被汽化。该第二汽化源像该第一汽化源一样被移动，由此均匀地形成该电子传输层。

公开(公告)号：CN1443027B

公开(公告)日：2010-04-28

申请号：CN03120228.4

申请日：2003-03-05

Applicant: 三洋电机株式会社

Inventor： 中野真吾 ,  神野浩 ,  中井正也

IPC: H01L27/32 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/001

Abstract: 一种制造有机EL显示器的方法，其中阻止该有机EL器件的被促进的性能衰退，该衰退是由该有机EL器件形成期间在空穴传输层和发光层之间以及发光层和电子传输层之间产生的分界面引起的。该发光层的材料从第一汽化源被汽化。此时，该第一汽化源被从玻璃衬底的一端移动到另一端。结果，该发光层均匀地在该玻璃衬底上形成。在该发光层的形成完成后，该电子传输层的材料从第二汽化源被汽化。该第二汽化源像该第一汽化源一样被移动，由此均匀地形成该电子传输层。