公开(公告)号：CN118625601A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410262318.0

申请日：2024-03-07

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 蔡闰珠

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/00 ,  G03F1/00

Abstract: 公开一种硬掩模组合物、包含所述硬掩模组合物的固化产物的硬掩模层以及使用包含所述硬掩模组合物的固化产物的所述硬掩模层来形成图案的方法。所述硬掩模组合物包含：聚合物，包括由化学式1表示的结构单元；以及溶剂：[化学式1]#imgabs0#

公开(公告)号：CN115710346A

公开(公告)日：2023-02-24

申请号：CN202211012008.0

申请日：2022-08-23

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金惠廷 ,  金修熙 ,  金有那 ,  朴亨锡 ,  尹熙灿 ,  李在哲 ,  李种和 ,  郑瑟基 ,  蔡闰珠 ,  黄元宗

IPC: C08G61/10 ,  G03F1/48 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供一种硬掩模组合物、由硬掩模组合物制造的硬掩模层、以及由硬掩模组合物形成图案的方法，硬掩模组合物包含：聚合物，包含由化学式1表示的结构单元和由化学式2表示的结构单元，以及溶剂：其中化学式1和化学式2的定义如说明书中所描述。[化学式1][化学式2]