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公开(公告)号:CN1542978A
公开(公告)日:2004-11-03
申请号:CN200410043024.1
申请日:2004-04-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/115 , H01L27/112 , G11C16/04
CPC classification number: H01L27/11568 , G11C16/0416 , G11C16/0466 , H01L21/28273 , H01L21/28282 , H01L27/0207 , H01L27/115 , H01L27/11519 , H01L27/11521 , H01L27/11524 , H01L29/66825 , H01L29/66833 , H01L29/792
Abstract: 本发明公开了一种字节操作非易失性半导体存储装置,其能够一次擦除一个字节的已存储的数据。字节存储单元可包括多个1字节存储晶体管的存储单元陈列。该些1字节存储晶体管可以沿一个方向排列,其每一个包括形成在有源区中的结区和沟道区。字节存储单元可包括字节选择晶体管。该选择晶体管可以设置在有源区中,并且包括直接与每个该1字节存储晶体管的结相邻的结区。该字节选择晶体管可以垂直于该些1字节存储晶体管排列方向地设置在该些1字节存储晶体管的上面或下面。
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公开(公告)号:CN1531095A
公开(公告)日:2004-09-22
申请号:CN200410001272.X
申请日:2004-01-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L27/12 , H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/8234 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/792 , H01L29/7923 , Y10S438/954
Abstract: 本发明公开了一种局部硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(SONOS)结构及其制造方法。该局部SONOS结构具有两片栅极和自对准氧化物-氮化物-氧化物(ONO)结构,包括:衬底;ONO结构,在衬底上;第一栅极层,在ONO结构上并与其对准;栅极绝缘体,在ONO结构旁的衬底上;以及,第二栅极层,在第一栅极层上和栅极绝缘体上。第一和第二栅极层彼此电连接。ONO结构、第一和第二栅极层一同限定了至少1位局部SONOS结构。相应的制造方法包括:设置衬底;在衬底上形成ONO结构;在ONO结构上形成第一栅极层并且第一栅极层与ONO结构对准;在ONO结构旁的衬底上形成栅极绝缘体;在第一栅极层和栅极绝缘体上形成第二栅极层;以及电连接第一和第二栅极层。
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公开(公告)号:CN100367506C
公开(公告)日:2008-02-06
申请号:CN200410043024.1
申请日:2004-04-19
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/115 , H01L27/112 , G11C16/04
CPC classification number: H01L27/11568 , G11C16/0416 , G11C16/0466 , H01L21/28273 , H01L21/28282 , H01L27/0207 , H01L27/115 , H01L27/11519 , H01L27/11521 , H01L27/11524 , H01L29/66825 , H01L29/66833 , H01L29/792
Abstract: 本发明公开了一种字节操作非易失性半导体存储装置,其能够一次擦除一个字节的已存储的数据。字节存储单元可包括多个1字节存储晶体管的存储单元阵列。该些1字节存储晶体管可以沿一个方向排列,其每一个包括形成在有源区中的结区和沟道区。字节存储单元可包括字节选择晶体管。该选择晶体管可以设置在有源区中,并且包括直接与每个该1字节存储晶体管的结相邻的结区。该字节选择晶体管可以垂直于该些1字节存储晶体管排列方向地设置在该些1字节存储晶体管的上面或下面。
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公开(公告)号:CN1326245C
公开(公告)日:2007-07-11
申请号:CN200410001272.X
申请日:2004-01-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/105 , H01L27/12 , H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/8234 , H01L21/02
CPC classification number: H01L29/792 , H01L29/7923 , Y10S438/954
Abstract: 本发明公开了一种局部硅-氧化物-氮化物-氧化物-硅(SONOS)结构及其制造方法。该局部SONOS结构具有两片栅极和自对准氧化物-氮化物-氧化物(ONO)结构,包括:衬底;ONO结构,在衬底上;第一栅极层,在ONO结构上并与其对准;栅极绝缘体,在ONO结构旁的衬底上;以及,第二栅极层,在第一栅极层上和栅极绝缘体上。第一和第二栅极层彼此电连接。ONO结构、第一和第二栅极层一同限定了至少1位局部SONOS结构。相应的制造方法包括:设置衬底;在衬底上形成ONO结构;在ONO结构上形成第一栅极层并且第一栅极层与ONO结构对准;在ONO结构旁的衬底上形成栅极绝缘体;在第一栅极层和栅极绝缘体上形成第二栅极层;以及电连接第一和第二栅极层。
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