自动光阑装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1159602A

    公开(公告)日:1997-09-17

    申请号:CN96105524.3

    申请日:1996-03-01

    CPC classification number: G03F7/70091 G02B5/005

    Abstract: 一种控制相干度的新型自动光阑装置,它包括:一可变光阑;和自动控制可变光阑的驱动马达。驱动马达分X轴和Y轴马达,分别用来沿X轴和Y轴精细地移动可变光阑的中心;和一控制可变光阑半径的马达。通过自动控制光阑,光阑的半径可连续改变,光阑中心可沿X和Y轴精细地移动。因此,能够与任何分步机的光轴精确对准。

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