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公开(公告)号：CN119492516A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202410900504.2
申请日：2024-07-05
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种光学测量系统包括：半球形镜，其包括平面部分和在平面部分中具有半球形凹陷形状的球形部分。在球形部分中，形成有具有与球形部分的其余部分不同的反射率的纬度标记。该系统包括具有物镜和至少一个分束器的光学单元。光学单元将从半球形镜反射的光通过物镜传输到第一传感器。控制器通过将半球形镜对准在物镜的焦点处、检测物镜的其中纬度标记表现为较暗的圆形线的后焦图像、以及对该图像执行计算，来测量物镜的数值孔径。
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