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公开(公告)号:CN116776805A
公开(公告)日:2023-09-19
申请号:CN202211616528.2
申请日:2022-12-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F30/392
Abstract: 提供了一种用于基于第一输入和修改输入生成布局图形的布局设计工具、一种修改布局的方法和一种半导体制造系统。所述布局设计工具包括处理电路,所述处理电路基于所述第一输入生成其中图案被脚本化的临时布局并且基于所述修改输入修改所述临时布局以生成所述布局图形,以及所述处理电路基于所述修改输入在所述临时布局上指定要修改的多个修改区域并且在背景层上指定多个变换区域,所述临时布局的所述多个修改区域包括具有相同形状的图案组,并且所述布局设计工具通过提取包括在所述多个修改区域中的任何一个修改区域中的所述图案组来生成图案层并且通过将所述图案层布设在所述背景层的所述多个变换区域上来生成所述布局图形。