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公开(公告)号：CN101105361A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200710103451.8
申请日：2007-05-18
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L21/02057 , H01L21/67034
Abstract: 在干燥物体的方法中，第一干燥流体和第二干燥流体可以被第一次加热，以形成气体混合物。第二次加热该气体混合物，以防止该混合气体凝结。该第二次加热气体混合物可以被过滤，以除去第二次加热气体混合物中的杂质。然后，该过滤的混合气体被施加到物体，以干燥该物体。
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