公开(公告)号：CN109727899A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811256002.1

申请日：2018-10-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 裵豆植 ,  林亢龙 ,  高世元 ,  李允美 ,  金振湖 ,  朴正大 ,  李玟仙 ,  李永澈

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67393

Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此，可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。

公开(公告)号：CN109727899B

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN201811256002.1

申请日：2018-10-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 裵豆植 ,  林亢龙 ,  高世元 ,  李允美 ,  金振湖 ,  朴正大 ,  李玟仙 ,  李永澈

IPC: H01L21/673

Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此，可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。