公开(公告)号：CN110534570A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910143879.8

申请日：2019-02-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 曹玟锡 ,  李戴晛 ,  李钟汉 ,  朴洪培 ,  李东洙

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336

Abstract: 半导体器件可以包括：从衬底突出的多个第一有源鳍，每个第一有源鳍在第一方向上延伸；从衬底突出的第二有源鳍；以及第一有源鳍上的多个相应的第一鳍式场效应晶体管(FinFET)。每个第一FinFET包括在与第一方向垂直的第二方向上延伸的第一栅结构，并且第一栅结构包括第一栅绝缘层和第一栅电极。第一FinFET形成在衬底的第一区域上，并且具有第一金属氧化物层作为第一栅绝缘层，并且第二FinFET在衬底的第二区域上形成在第二有源鳍上，并且第二FinFET不包括金属氧化物层，而包括第二栅绝缘层，第二栅绝缘层的底表面与第一金属氧化物层的底表面位于同一平面。

公开(公告)号：CN110534570B

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN201910143879.8

申请日：2019-02-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 曹玟锡 ,  李戴晛 ,  李钟汉 ,  朴洪培 ,  李东洙

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336

Abstract: 半导体器件可以包括：从衬底突出的多个第一有源鳍，每个第一有源鳍在第一方向上延伸；从衬底突出的第二有源鳍；以及第一有源鳍上的多个相应的第一鳍式场效应晶体管(FinFET)。每个第一FinFET包括在与第一方向垂直的第二方向上延伸的第一栅结构，并且第一栅结构包括第一栅绝缘层和第一栅电极。第一FinFET形成在衬底的第一区域上，并且具有第一金属氧化物层作为第一栅绝缘层，并且第二FinFET在衬底的第二区域上形成在第二有源鳍上，并且第二FinFET不包括金属氧化物层，而包括第二栅绝缘层，第二栅绝缘层的底表面与第一金属氧化物层的底表面位于同一平面。