公开(公告)号：CN101241165B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200710102204.6

申请日：2007-04-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金义锡 ,  李庭佑 ,  郑允辰 ,  李成进 ,  安成敏 ,  康盛旭

IPC: G01R31/26 ,  G01D5/26 ,  G01N21/956

Abstract: 本发明公开一种在提高缺陷检查灵敏度的同时提高检查速度的多层构造体的缺陷检查装置。该缺陷检查装置，包含：X光发射装置，该X光发射装置向作为检查对象的多层构造体发射X光并满足X光的反射条件；检测传感器，以用于检测因多层构造体的缺陷而透射多层构造体的荧光X光。

公开(公告)号：CN101241165A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200710102204.6

申请日：2007-04-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金义锡 ,  李庭佑 ,  郑允辰 ,  李成进 ,  安成敏 ,  康盛旭

IPC: G01R31/26 ,  G01D5/26 ,  G01N21/956

Abstract: 本发明公开一种在提高缺陷检查灵敏度的同时提高检查速度的多层构造体的缺陷检查装置。该缺陷检查装置，包含：X光发射装置，该X光发射装置向作为检查对象的多层构造体发射X光并满足X光的反射条件；检测传感器，以用于检测因多层构造体的缺陷而透射多层构造体的荧光X光。