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公开(公告)号:CN109727899A
公开(公告)日:2019-05-07
申请号:CN201811256002.1
申请日:2018-10-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/673
CPC classification number: H01L21/67253 , H01L21/67248 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , H01L21/67393
Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此,可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。
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公开(公告)号:CN114181236A
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN202111048390.6
申请日:2021-09-08
Applicant: 三星电子株式会社 , 光云大学校产学协力团
Abstract: 本发明涉及多环化合物和包括其的有机发光器件。多环化合物由式1表示,其中,在式1中,环CY1、环CY2、和环CY3各自独立地为C5‑C30碳环基团或C1‑C30杂环基团;X1为B、N、P、P(=O)、P(=S)、Al、Ga、As、C(R4)、Si(R4)、或Ge(R4);Y1和Y2各自独立地为O、S、Se、B(R5)、N(R5)、C(R5)(R6)、Si(R5)(R6)、Ge(R5)(R6)、Ga(R5)、As(R5)、P(R5)、P(=O)(R5)、P(=S)(R5)、或Al(R5);并且R1、R2、R3、b1、b2、和b3是如本文中所提供的。式1
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公开(公告)号:CN109727899B
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN201811256002.1
申请日:2018-10-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/673
Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此,可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。
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