公开(公告)号：CN1716526A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510074008.3

申请日：2005-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴栽永 ,  李丞镇 ,  金荣敏

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/00 ,  H01J37/00 ,  B08B5/00

CPC classification number: H01J37/32862 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32449 ,  H01L21/67069

Abstract: 一种清洗远程等离子体产生管的方法和用于使用远程等离子体产生管处理衬底的设备和方法，包括将清洗气体提供到用于产生远程等离子体的远程等离子体产生管中，远程等离子体产生管被连接到用于使用远程等离子体处理衬底的处理室，由清洗气体形成清洗等离子体，以及使用清洗等离子体除去在远程等离子体产生管内形成的颗粒。