公开(公告)号：CN106908558A

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201610915550.5

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电子株式会社 ,  延世大学校产学协力团

Inventor： 郑圣翰 ,  李东洙 ,  崔雅美 ,  严智媛 ,  蔡京洙 ,  朴正大 ,  林光信

IPC: G01N30/64 ,  G01N30/96

Abstract: 本发明提供电导率探测器和包括其的离子色谱系统。该电导率探测器包括流动通道、电极布置和探测器。流动通道具有管形状，该管形状具有包括离子组分的溶液流动通过其的通道直径。电极布置在流动通道上并且包括至少一阳极和至少一阴极。阳极和阴极间隔开小于或等于通道直径的电极间隙。探测器连接到电极布置以探测离子组分的电导率。

公开(公告)号：CN109727899A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811256002.1

申请日：2018-10-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 裵豆植 ,  林亢龙 ,  高世元 ,  李允美 ,  金振湖 ,  朴正大 ,  李玟仙 ,  李永澈

IPC: H01L21/673

CPC classification number: H01L21/67253 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67393

Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此，可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。

公开(公告)号：CN101334360A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810127748.2

申请日：2008-02-05

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 洪显基 ,  李宰硕 ,  李阳求 ,  李宪定 ,  朴正大 ,  朴善喜

IPC: G01N21/31

CPC classification number: G01N21/77 ,  G01N31/22

Abstract: 本发明提供用于检测空气中的金属浓度的方法，包括混合溶液，其包含被溶剂溶解的金属，并且试剂与溶解在溶剂中的金属离子结合，并参考溶剂和试剂的混合物与溶液与试剂的混合物之间的吸收率的差异。还提供了一种用于执行在此描述的过程的装置。

公开(公告)号：CN106908558B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201610915550.5

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电子株式会社 ,  延世大学校 ,  产学协力团

Inventor： 郑圣翰 ,  李东洙 ,  崔雅美 ,  严智媛 ,  蔡京洙 ,  朴正大 ,  林光信

IPC: G01N30/64 ,  G01N30/96

Abstract: 本发明提供电导率探测器和包括其的离子色谱系统。该电导率探测器包括流动通道、电极布置和探测器。流动通道具有管形状，该管形状具有包括离子组分的溶液流动通过其的通道直径。电极布置在流动通道上并且包括至少一阳极和至少一阴极。阳极和阴极间隔开小于或等于通道直径的电极间隙。探测器连接到电极布置以探测离子组分的电导率。

公开(公告)号：CN109727899B

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN201811256002.1

申请日：2018-10-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 裵豆植 ,  林亢龙 ,  高世元 ,  李允美 ,  金振湖 ,  朴正大 ,  李玟仙 ,  李永澈

IPC: H01L21/673

Abstract: 一种基板载体可以包括载体主体和第一传感器单元。载体主体可以包括内部空间、入口和出口。内部空间可以被配置为接收基板。吹扫气体可以通过入口引入到内部空间中。内部空间中的气体可以通过出口排出。第一传感器单元可以在出口处并且被配置为实时检测内部空间的环境属性。因此，可以准确地识别载体主体中污染物的产生或起因。