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公开(公告)号：CN113777158A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110648262.9
申请日：2021-06-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/22 , G01N29/24 , H05B3/02
Abstract: 提供了一种气体传感器以及包括其的传感器阵列模块和移动装置。所述气体传感器包括：压电式衬底；压电式衬底的上表面上的电极区中的谐振器，谐振器包括叉指换能器电极和连接至叉指换能器电极的叉指换能器焊盘，叉指换能器电极被配置为在电极区的中心区中产生表面声波，表面声波在第一水平方向上传播；压电式衬底的上表面上的电极区的中心区中的感测膜，感测膜包括与目标气体相互作用的感测材料；以及包围压电式衬底的上表面上的电极区的边缘区中的加热器，所述加热器包括被配置为加热感测膜的加热器电极和连接至加热器电极的加热器焊盘，加热器电极和加热器焊盘形成闭合传导回路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111103395B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN201910491331.2
申请日：2019-06-06
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N33/00
Abstract: 提供一种气体感测装置、包括其的电子装置和气体感测系统，该气体感测系统包括驱动电路芯片以及位于驱动电路芯片上的气体传感器、温度传感器和湿度传感器。气体感测系统基于温度感测结果和湿度感测结果中的至少一个来补偿气体感测结果，并生成气体感测信号。气体传感器包括第一谐振器和第一感测膜，第一感测膜被配置为感测第一气体并位于第一谐振器上以暴露于外部。温度传感器包括第二谐振器和位于第二谐振器上方以不将第二谐振器暴露于外部的封装层，并且湿度传感器包括第三谐振器。
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公开(公告)号：CN111103395A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201910491331.2
申请日：2019-06-06
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G01N33/00
Abstract: 提供一种气体感测装置、包括其的电子装置和气体感测系统，该气体感测系统包括驱动电路芯片以及位于驱动电路芯片上的气体传感器、温度传感器和湿度传感器。气体感测系统基于温度感测结果和湿度感测结果中的至少一个来补偿气体感测结果，并生成气体感测信号。气体传感器包括第一谐振器和第一感测膜，第一感测膜被配置为感测第一气体并位于第一谐振器上以暴露于外部。温度传感器包括第二谐振器和位于第二谐振器上方以不将第二谐振器暴露于外部的封装层，并且湿度传感器包括第三谐振器。
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公开(公告)号：CN111007143B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201910362215.0
申请日：2019-04-30
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供用于提供自校准的气体传感器和感测气体的方法，该气体传感器包括：气体感测器件，具有随吸附的化学物质而改变的谐振频率；频率检测器，被配置为检测气体感测器件的谐振频率；校准器，被配置为在校准模式中基于已经被加热到校准温度的气体感测器件的谐振频率来产生当前校准数据；以及补偿器，被配置为在感测模式中基于当前校准数据来调整频率检测器的输出值。
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公开(公告)号：CN111007143A
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201910362215.0
申请日：2019-04-30
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供用于提供自校准的气体传感器和感测气体的方法，该气体传感器包括：气体感测器件，具有随吸附的化学物质而改变的谐振频率；频率检测器，被配置为检测气体感测器件的谐振频率；校准器，被配置为在校准模式中基于已经被加热到校准温度的气体感测器件的谐振频率来产生当前校准数据；以及补偿器，被配置为在感测模式中基于当前校准数据来调整频率检测器的输出值。
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