公开(公告)号：CN110763696B

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN201910154524.9

申请日：2019-02-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 明图·杜塔 ,  萨米拉·巴拉德瓦加·哈牙瓦达拉 ,  沙闪克·什里坎特·阿加斯 ,  拉蒂什·巴拉干加达尔 ,  安莫·瓦尔马 ,  申宪周

IPC: G01N21/95 ,  H01L21/66

Abstract: 本文的实施例提供了用于根据CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法和系统。需要具有晶圆的图像，其可以是完美参考图像的忠实再现。之后，可以通过将完美参考图像中的管芯与晶圆的实际图像中的管芯进行比较来将完美参考图像用于检测晶圆中的缺陷。可以根据CAD文件生成完美参考图像，CAD文件包括晶圆的电路设计。生成的晶圆的完美参考图像可以称为管芯张量。管芯张量可以包括预定义数量的切片，可以使用预定义数量的切片来改善对晶圆的管芯中的缺陷的检测。

公开(公告)号：CN110763696A

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201910154524.9

申请日：2019-02-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 明图·杜塔 ,  萨米拉·巴拉德瓦加·哈牙瓦达拉 ,  沙闪克·什里坎特·阿加斯 ,  拉蒂什·巴拉干加达尔 ,  安莫·瓦尔马 ,  申宪周

IPC: G01N21/95 ,  H01L21/66

Abstract: 本文的实施例提供了用于根据CAD文件生成晶圆的管芯张量的方法和系统。需要具有晶圆的图像，其可以是完美参考图像的忠实再现。之后，可以通过将完美参考图像中的管芯与晶圆的实际图像中的管芯进行比较来将完美参考图像用于检测晶圆中的缺陷。可以根据CAD文件生成完美参考图像，CAD文件包括晶圆的电路设计。生成的晶圆的完美参考图像可以称为管芯张量。管芯张量可以包括预定义数量的切片，可以使用预定义数量的切片来改善对晶圆的管芯中的缺陷的检测。