公开(公告)号：CN105279306B

公开(公告)日：2021-05-18

申请号：CN201510400408.2

申请日：2015-07-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 申在弼 ,  康彰佑 ,  金宗沅 ,  李昊俊 ,  张圭伯 ,  郑元永

IPC: G06F30/398 ,  G06F30/20

Abstract: 本发明提供了检测应力、训练简化模型、释放应力的方法及计算系统。一种对包括了由不同材料形成的第一图案和第二图案的集成电路的应力进行检测的方法，该方法可以包括：确定第一图案的一个或多个应力检测点；将包括了一个或多个应力检测点中的第一应力检测点的区域划分为多个分隔区；计算第二图案在各分隔区处的面积；以及/或者基于第二图案在各分隔区处的面积来检测由第二图案施加至第一图案的第一应力检测点的应力水平。

公开(公告)号：CN105279306A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510400408.2

申请日：2015-07-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 申在弼 ,  康彰佑 ,  金宗沅 ,  李昊俊 ,  张圭伯 ,  郑元永

IPC: G06F17/50 ,  G01L5/00

CPC classification number: G06F17/5081 ,  G06F17/5009

Abstract: 本发明提供了检测应力、训练简化模型、释放应力的方法及计算系统。一种对包括了由不同材料形成的第一图案和第二图案的集成电路的应力进行检测的方法，该方法可以包括：确定第一图案的一个或多个应力检测点；将包括了一个或多个应力检测点中的第一应力检测点的区域划分为多个分隔区；计算第二图案在各分隔区处的面积；以及/或者基于第二图案在各分隔区处的面积来检测由第二图案施加至第一图案的第一应力检测点的应力水平。