公开(公告)号：CN1257034A

公开(公告)日：2000-06-21

申请号：CN99121055.7

申请日：1999-12-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边圣埈 ,  安钟范 ,  崔成奎

IPC: B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/136

Abstract: 一种基板的卸载装置,其包括:一操作台,用以排列放置前一设备中完成作业的具有不同大小的基板;一搬运机器人,用以抬起排列地置于上述操作台上的基板,与基板的大小无关,把基板装载至卡匣或下一设备的一定位置;及一设备控制器,用以控制基板在操作台上的排列,使其与大小无关,能够装载至卡匣或下一设备的一定位置,及用以控制上述搬运机器人的动作。本发明还涉及基板的卸载方法。

公开(公告)号：CN1166543C

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：CN99121055.7

申请日：1999-12-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 边圣埈 ,  安钟范 ,  崔成奎

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/136

Abstract: 一种基板的卸载装置，其包括：一操作台，用以排列放置前一设备中完成作业的具有不同大小的基板；一搬运机器人，用以抬起排列地置于上述操作台上的基板，与基板的大小无关，把基板装载至卡匣或下一设备的一定位置；及一设备控制器，用以控制基板在操作台上的排列，使其与大小无关，能够装载至卡匣或下一设备的一定位置，及用以控制上述搬运机器人的动作。本发明还涉及基板的卸载方法。