公开(公告)号：CN110072956A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201780069668.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  堀内干正 ,  熊谷彰记

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/306 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明的研磨液包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，pH为5～11。上述纤维素系表面活性剂优选为羧甲基纤维素或其衍生物。所述阳离子表面活性剂还优选具有季铵离子部位。上述纤维素系表面活性剂或上述阳离子表面活性剂的浓度还优选相对于上述研磨液的总量为0.01质量％～1.0质量％。

公开(公告)号：CN109392311A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201780031950.2

申请日：2017-05-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  熊谷彰记

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的研磨液含有高锰酸离子、弱酸及其可溶性盐。研磨开始前的pH在25℃下优选为0.5～6.0。在25℃下向将pH调整为3.0～4.0的上述研磨液100mL中添加浓度为0.1mol/L的氢氧化钠的水溶液时使pH上升0.5所需要的氢氧化钠的水溶液的添加量优选为0.1mL～100mL。弱酸优选为醋酸。

公开(公告)号：CN110072956B

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN201780069668.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  堀内干正 ,  熊谷彰记

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/306 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明的研磨液包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，pH为5～11。上述纤维素系表面活性剂优选为羧甲基纤维素或其衍生物。所述阳离子表面活性剂还优选具有季铵离子部位。上述纤维素系表面活性剂或上述阳离子表面活性剂的浓度还优选相对于上述研磨液的总量为0.01质量％～1.0质量％。

公开(公告)号：CN109392311B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN201780031950.2

申请日：2017-05-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  熊谷彰记

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明的研磨液含有高锰酸离子、弱酸及其可溶性盐。研磨开始前的pH在25℃下优选为0.5～6.0。在25℃下向将pH调整为3.0～4.0的上述研磨液100mL中添加浓度为0.1mol/L的氢氧化钠的水溶液时使pH上升0.5所需要的氢氧化钠的水溶液的添加量优选为0.1mL～100mL。弱酸优选为醋酸。

公开(公告)号：CN103492518A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201180069653.X

申请日：2011-11-24

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松山雅之 ,  堀内干正

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09G1/02 ,  B24B37/044 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463

Abstract: 本发明提供一种能以高速对蓝宝石单晶基板等含有Al的高硬度的基材进行研磨处理、能实现具有高面精度的研磨面的研磨处理技术。本发明涉及一种研磨浆料，其是对含有铝的基材进行研磨的研磨浆料，其特征在于，含有磨粒、在20℃的水中的溶解度为0.1g/100g-H2O以上的无机硼化合物、水。本发明中的无机硼化合物的含量相对于研磨浆料，换算成硼原子较好为0.1质量％～20质量％。