公开(公告)号：CN101156505A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200680011252.8

申请日：2006-04-05

Applicant: 卡罗·塔里亚尼 ,  弗朗西斯科·西诺·马塔科塔

Inventor： 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔

IPC: H05H1/54

CPC classification number: H05H1/54 ,  H01J1/025 ,  H01J3/025

Abstract: 一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备和方法，设备包括：含有气体的第一介电管；连接到所述第一介电管的空心阴极；连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管；在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极；用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置；用于从所述沉积室排空气体的装置；以及用于第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。

公开(公告)号：CN101156505B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200680011252.8

申请日：2006-04-05

Applicant: 卡罗·塔里亚尼 ,  弗朗西斯科·西诺·马塔科塔

Inventor： 弗朗西斯科·西诺·马塔科塔

IPC: H05H1/54

CPC classification number: H05H1/54 ,  H01J1/025 ,  H01J3/025

Abstract: 一种用于生成、加速和传播高密度电子束和等离子体束的设备和方法，设备包括：含有气体的第一介电管；连接到所述第一介电管的空心阴极；连接到所述空心阴极并向沉积室内凸出并与之连接的第二介电管；在中间位置处布置在所述第二介电管的周围的阳极；用于将电压施加到所述阴极和所述阳极的装置；用于从所述沉积室排空气体的装置；以及用于第一介电管内气体向等离子体的自发转变的装置。