槽和药液供给系统
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110944920B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN201880048526.3

    申请日:2018-07-20

    Abstract: 本发明提供一种处理各种药液的槽,该槽能够防止槽内容物的带电,减少槽内容物的污染。本发明的槽具有槽外罐和在其内表面的衬里层,衬里层在至少一部分中包含含有氟树脂A和碳纳米管的复合树脂材料,氟树脂A选自聚四氟乙烯、改性聚四氟乙烯、四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物、四氟乙烯/六氟丙烯共聚物、四氟乙烯/乙烯共聚物、聚偏氟乙烯、聚氯三氟乙烯、氯三氟乙烯/乙烯共聚物和聚氟乙烯。

    含有碳纳米管的复合二次颗粒及其制造方法

    公开(公告)号:CN113330063A

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN202080009599.9

    申请日:2020-01-16

    Abstract: 本发明提供一种复合二次颗粒,该复合二次颗粒含有氟树脂的一次颗粒和碳纳米管,其是通过氟树脂的一次颗粒聚集并在氟树脂的一次颗粒之间存在碳纳米管而构成的,碳纳米管的平均长度为50~1000μm,氟树脂的一次颗粒的平均粒径为1~300μm,复合二次颗粒的平均粒径为150μm以上,复合二次颗粒的平均粒径大于一次颗粒的平均粒径,复合二次颗粒含有0.01~2.0质量%的碳纳米管。

    极化树脂膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN104884942A

    公开(公告)日:2015-09-02

    申请号:CN201380068407.1

    申请日:2013-12-27

    Abstract: 本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其极大地降低了用作光学膜时的、由显示元件产生的影像或图像的质量的劣化。本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其通过后述的缺陷测定方法测得的点状缺陷的数量为2,000个/m2以下。<缺陷测定方法>使用外观检查机,按照能够以相对于LED光源为45度的角度检测缺陷的方式设置CCD摄像机,一边在其下方以20m/分钟的速度进行扫描,一边在宽度方向(相对于扫描的行进方向成直角的方向)300mm、流动方向(扫描的行进方向)150mm的长方形的范围内读取膜的缺陷。就缺陷而言,首先选定明面积为1.5mm2以下且暗面积为1.4mm2以下的缺陷。接着,为除去这些缺陷中所含的、除电晕处理以外的原因的缺陷,以具有沿着扫描的行进方向的2边的方式设定缺陷的外接矩形,仅将外接宽度为2.88mm以下、外接长度为2.3mm以下、纵横比率为-3.9~+2.7、外接矩形中的占有面积比率为4,000~6,950、且面积比率为-3,100~+5,200的缺陷作为点状缺陷,利用外观检查机自动地对其个数进行计数。

    耐热性驻极体用材料和耐热性驻极体

    公开(公告)号:CN1826836A

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200480021016.5

    申请日:2004-07-21

    Abstract: 使用包含氟树脂的耐热性驻极体用材料制造驻极体,其中上述氟树脂为改性聚四氟乙烯。此外,制造在金属部件的表面粘接有树脂薄膜的驻极体,其中上述树脂薄膜包含聚四氟乙烯,并且只有上述金属部件一侧的上述树脂薄膜的一个面被实施了易粘接处理。这样,能够提供一种在高温下的电荷保持性能高的高耐热性驻极体。

    药液处理装置
    6.
    发明公开
    药液处理装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN114981922A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202080093066.3

    申请日:2020-01-17

    Inventor: 出口泰纪

    Abstract: 本发明提供一种抑制在每个基板的抗蚀剂去除中产生不均的药液处理装置。所述药液处理装置具备:处理槽(10a),通过将基板(4)浸渍于药液(6)来对所述基板进行抗蚀剂去除处理;多个保持部(22),以纵置的方式保持所述基板(4);上下驱动部(20),单独地上下驱动所述保持部(22);以及装夹部(55),卡脱自如地装夹所述基板(4),所述上下驱动部(20)使所述保持部(22)在将所述基板(4)浸渍于所述药液(6)的浸渍位置与将所述基板(4)从所述药液(6)提起的非浸渍位置之间单独地上下移动,由此由所述保持部(22)保持的所述基板(4)被以单片式进行抗蚀剂去除处理。

    极化树脂膜及其制造方法

    公开(公告)号:CN104884942B

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201380068407.1

    申请日:2013-12-27

    Abstract: 本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其极大地降低了用作光学膜时的、由显示元件产生的影像或图像的质量的劣化。本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其通过后述的缺陷测定方法测得的点状缺陷的数量为2,000个/m2以下。<缺陷测定方法>使用外观检查机,按照能够以相对于LED光源为45度的角度检测缺陷的方式设置CCD摄像机,一边在其下方以20m/分钟的速度进行扫描,一边在宽度方向(相对于扫描的行进方向成直角的方向)300mm、流动方向(扫描的行进方向)150mm的长方形的范围内读取膜的缺陷。就缺陷而言,首先选定明面积为1.5mm2以下且暗面积为1.4mm2以下的缺陷。接着,为除去这些缺陷中所含的、除电晕处理以外的原因的缺陷,以具有沿着扫描的行进方向的2边的方式设定缺陷的外接矩形,仅将外接宽度为2.88mm以下、外接长度为2.3mm以下、纵横比率为-3.9~+2.7、外接矩形中的占有面积比率为4,000~6,950、且面积比率为‑3,100~+5,200的缺陷作为点状缺陷,利用外观检查机自动地对其个数进行计数。

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