Utility Model
- Patent Title: 一种多晶硅还原炉
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Application No.: CN201820075952.3Application Date: 2018-01-17
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Publication No.: CN208648763UPublication Date: 2019-03-26
- Inventor: 蒋文武 , 李玉忠 , 张敬亮
- Applicant: 江苏中能硅业科技发展有限公司 , 厦门佰事兴新材料科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号
- Assignee: 江苏中能硅业科技发展有限公司,厦门佰事兴新材料科技有限公司
- Current Assignee: 江苏中能硅业科技发展有限公司,厦门佰事兴新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号
- Main IPC: C01B33/035
- IPC: C01B33/035 ; C22C19/07 ; C22C19/05 ; C23C4/129 ; C23C4/134 ; C23C4/06

Abstract:
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉筒(1),炉筒安装在底盘(6)上,炉筒由炉筒内壁(3)和炉筒外壁(10)组成,炉筒外壁与炉筒内壁之间设置水腔(4),所述炉筒上、中、下部位分布至少3个视镜孔(7、8、9),视镜孔贯穿炉筒内壁(3)、外壁(10),炉筒(1)下部设有冷媒体进入口(5),炉筒上部设有冷媒体排出口(2),炉筒内壁(3)上设有喷砂粗化层(11),喷砂粗化层上设有镍基钨合金和/或钴基钨合金形成的功能层。本实用新型的多晶硅还原炉,能够减少热量损失,达到5%~30%节电效果;提高多晶硅电阻率,延长还原炉使用时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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