一种多晶硅还原炉
Abstract:
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉,包括炉筒(1),炉筒安装在底盘(6)上,炉筒由炉筒内壁(3)和炉筒外壁(10)组成,炉筒外壁与炉筒内壁之间设置水腔(4),所述炉筒上、中、下部位分布至少3个视镜孔(7、8、9),视镜孔贯穿炉筒内壁(3)、外壁(10),炉筒(1)下部设有冷媒体进入口(5),炉筒上部设有冷媒体排出口(2),炉筒内壁(3)上设有喷砂粗化层(11),喷砂粗化层上设有镍基钨合金和/或钴基钨合金形成的功能层。本实用新型的多晶硅还原炉,能够减少热量损失,达到5%~30%节电效果;提高多晶硅电阻率,延长还原炉使用时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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