Invention Publication
CN1729137A 产生微结构的方法和生产模具的方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 产生微结构的方法和生产模具的方法
- Patent Title (English): Method of manufacturing micro structure, and method of manufacturing mold material
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Application No.: CN200380107040.6Application Date: 2003-11-25
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Publication No.: CN1729137APublication Date: 2006-02-01
- Inventor: 角野宏治 , 村上洋介
- Applicant: 索尼株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 索尼株式会社
- Current Assignee: 索尼株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 钱慰民
- Priority: 372277/2002 2002.12.24 JP
- International Application: PCT/JP2003/014978 2003.11.25
- International Announcement: WO2004/058629 JA 2004.07.15
- Date entered country: 2005-06-20
- Main IPC: B82B3/00
- IPC: B82B3/00 ; C01B31/02 ; C23C16/44 ; C23C16/48 ; B01J37/02 ; B01J37/03 ; B01J37/34 ; B01J23/74 ; H01J9/02
Abstract:
本文揭示一种产生微结构的方法，和一种生产模具的方法，这两个方法能在一种可忽略杂质的气氛中，产生比以前小得多的微孔，并藉助于这微孔还能产生具有比以前更小尺寸和更高结晶度的微结构。产生微结构的方法包括用聚焦的能量束(3)辐照，在基底(1)上制作微孔(4)以成为模具(5)的步骤，和在如此制作的微孔(4)中生长微结构(8)的步骤。生产模具的方法包括通过用聚焦的能量束(3)辐照基底(1)制作微孔(4)以成为模具(5)的步骤。
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