铜接合线、铜接合线的制造方法以及半导体装置
Abstract:
本发明提供一种铜接合线,其能够提高切断性以及接合强度和追随性,抑制金属线的剥离和偏离工具。一种铜接合线,其是由铜的纯度为99.99质量%以上的铜合金构成的铜金属线,所述铜金属线的与线轴垂直的方向的截面中的晶界密度为0.01μm‑1以上且小于0.6μm‑1,在所述截面中的线轴方向的晶体取向中,相对于线轴方向角度差为15°以下的晶体取向 的取向比率除以相对于线轴方向角度差为15°以下的晶体取向 的取向比率而得到的值为10以上且650以下,动态硬度为45以上且90以下,并且所述截面中的弹性模量为20GPa以上且70GPa以下。
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