Invention Publication

测量样品尺寸的系统和方法
Abstract:
样品测量装置包括:夹具;单个致动器,被配置成控制夹具以夹紧力定位样品;测量探头,被配置成以探测力接触夹紧的样品;以及单个位置传感器,被配置成根据对测量探头的位置的检测来测量夹紧的样品的尺寸。
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