本发明公开了一种高效的准分子激光加工系统，包括准分子激光发生器(1)，紫外激光的光斑是边长为厘米量级的矩形光斑(2)，紫外激光的光路上设有能将紫外激光聚焦的光学聚焦组件(3)，经光学聚焦组件(3)聚焦后的紫外激光的光斑是宽度为微米量级且长度为厘米量级的条形光斑(4)，并且，紫外激光的光路上还设有能将呈条形光斑的紫外激光反射到工件(5)上的反射组件(6)，在紫外激光被反射到工件(5)上后，条形光斑(4)与工件(5)发生相对移动而对工件(5)加工。本发明既提高加工光斑的能量密度，又保障了加工光斑的尺寸，提高了激光加工的功效，也降低了对激光输出频率、振镜扫描速度或是工件移动速度的要求。