本发明公开了一种磷烷气体提纯装置，具体涉及磷烷气体提纯设备，包括设置于壳体内的组合提纯筛，所述组合提纯筛包括：活动支撑件，其包括底座和沿所述底座竖直滑动的滑套；移动过滤仓，其呈线性阵列滑动连接于所述滑套上，多个移动过滤仓内分别盛放有不同规格的分子筛。该发明将不同规格的分子筛分别放置于多个移动过滤仓内，在进行使用时，由多个移动过滤仓相互贴合形成磷烷气体的移动通道，对磷烷气体内的不同杂质进行分离，而在需要进行更换分子筛时，只需取出整个组合提纯筛，进行整体更换，不需要挨个对移动过滤仓内的分子筛进行取出，在分子筛的再生步骤中，驱使滑套移动，以将移动过滤仓相互远离的同时开放顶部，以便于加热再生分子筛。