Invention Grant
- Patent Title: 一种MOCVD设备的尾气过滤器结构和使用方法
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Application No.: CN202411172984.1Application Date: 2024-08-26
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Publication No.: CN118681341BPublication Date: 2024-11-26
- Inventor: 胡晓海 , 刘文朝
- Applicant: 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道龙桥路1368号青禾创客五楼503室
- Assignee: 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- Current Assignee: 苏州中科重仪半导体材料有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市吴江区江陵街道龙桥路1368号青禾创客五楼503室
- Agency: 苏州汇智联科知识产权代理有限公司
- Agent 李秀娟
- Main IPC: B01D46/90
- IPC: B01D46/90 ; B01D46/44 ; B01D46/42
Abstract:
本发明提供一种MOCVD设备的尾气过滤器结构和使用方法，涉及过滤器结构技术领域，包括MOCVD反应室，所述MOCVD反应室通过管道连接有过滤装置，所述过滤装置通过管道连接有压力调节阀，所述压力调节阀通过管道连接有真空抽气泵，当第一过滤器的压力过大之后，打开出气管内部的阀门，其中外筒内部左端的气体会有一部分进入第二过滤器内部进行过滤净化处理，从而实现第一过滤器与第二过滤器相互辅助使用，从而提高整体的过滤效率。
Public/Granted literature
- CN118681341A 一种MOCVD设备的尾气过滤器结构和使用方法 Public/Granted day:2024-09-24
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IPC分类:
