一种半导体量子比特的声学腔读取装置及其制备方法
Abstract:
本申请提供了一种半导体量子比特的声学腔读取装置及其制备方法。声学腔读取装置包括:凸面压电结构和半导体纳米线量子比特结构固定连接;凸面压电结构包括:第一衬底;第一薄膜层,设置在第一衬底的第一表面;凸面压电薄膜层,呈凸球面形状设置在第一衬底的第二表面;半导体纳米线量子比特结构包括:第二衬底;半导体纳米电极层,设置在第二衬底的表面,半导体纳米电极层包括:半导体纳米线,设置在第二衬底的表面;至少两个电极层,至少两个电极层分别搭接设置在半导体纳米线的两端,至少两个电极层之间裸露有部分半导体纳米线;其中,凸面压电薄膜层设置在裸露的半导体纳米线上方,凸面压电结构和半导体纳米线量子比特结构之间为空腔结构。
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