Invention Publication
- Patent Title: 一种TEM透射电镜小薄样品的双面磨抛制备方法
-
Application No.: CN202311840620.1Application Date: 2023-12-29
-
Publication No.: CN117754398APublication Date: 2024-03-26
- Inventor: 黄旭刚 , 康宝宁 , 万庆峰 , 张健康 , 张新辉 , 马肖
- Applicant: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
- Applicant Address: 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号
- Assignee: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
- Current Assignee: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司
- Current Assignee Address: 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路119号
- Agency: 中国和平利用军工技术协会专利中心
- Agent 彭霜
- Main IPC: B24B13/00
- IPC: B24B13/00 ; B24B13/005 ; B24B55/06

Abstract:
本发明提供一种TEM透射电镜小薄样品的双面磨抛制备方法,属于机械加工技术领域,所述制备方法包括,设置吸附孔,将吸附孔端埋入样品座的凹槽内,所述空腔的另一端用柔性材料封闭;在所述吸附孔末端吸附磨抛样品,所述磨抛样品与所述样品座的凹槽之间设置磁性吸附垫;将所述吸附空腔抽负压;进行磨抛;磨抛结束后取样,将样品清洗2‑3次,取出晾干。本发明所述方法在磨抛冲击时样品几乎不发生位移,半埋结构可以保护样品边缘不易受损,配合小压力、短时间的磨抛参数,可保证对样品边角无损伤,实现双面洁净抛光,通过吸附孔数量的设置,实现批量化制备。
Information query