一种TEM透射电镜小薄样品的双面磨抛制备方法
Abstract:
本发明提供一种TEM透射电镜小薄样品的双面磨抛制备方法,属于机械加工技术领域,所述制备方法包括,设置吸附孔,将吸附孔端埋入样品座的凹槽内,所述空腔的另一端用柔性材料封闭;在所述吸附孔末端吸附磨抛样品,所述磨抛样品与所述样品座的凹槽之间设置磁性吸附垫;将所述吸附空腔抽负压;进行磨抛;磨抛结束后取样,将样品清洗2‑3次,取出晾干。本发明所述方法在磨抛冲击时样品几乎不发生位移,半埋结构可以保护样品边缘不易受损,配合小压力、短时间的磨抛参数,可保证对样品边角无损伤,实现双面洁净抛光,通过吸附孔数量的设置,实现批量化制备。
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