本发明提供一种样品靶面激光烧蚀过程离焦量校正与调控装置及方法，涉及激光聚焦检测技术领域，其装置包括：激光位移传感器，用于测量样品架上样品靶的靶面与其之间的第一距离；处理器用于确定样品靶沿预设运动方向从第一位置移动到第二位置的第二距离；确定激光位移传感器在第一位置和第二位置时的第一距离之间的差值；确定第二夹角；确定第一乘积，以及第二乘积；根据第一乘积、第二乘积和第二距离，确定第一夹角，根据第一夹角生成第一控制指令；控制器用于根据第一控制指令控制样品架转动至靶面和预设运动方向平行。本发明通过对样品靶靶面的倾斜角度进行校正，提高了脉冲激光等离子体实验室激光聚焦条件的稳定性。