本发明提供了一种三轴驱控的擦拭装置及擦拭方法，属于板面擦拭领域，擦拭装置包括X轴电驱动滑台、Y轴电驱滑台、Z轴电驱滑台和摩擦头组件；Y轴电驱滑台通过X向转接板连接至X轴电驱动滑台的滑台动端，Z轴电驱滑台通过Y向转接筋板组件连接至Y轴电驱滑台的滑台活动端，摩擦头组件通过Z向转接筋板组件竖直的转接至Z轴电驱滑台的滑台活动端；带有弹性功能的摩擦头组件在擦拭控制器的控制下按照预设轨迹对上方的产品下表面进行触动擦拭。本申请的擦拭机构结构简单，通过三轴驱控模拟人手工擦拭，批量高效高质量的对产品下表面进行擦拭清洁，可以在小件多批量需压力施加的3C、半导体等需搬运或输送领域推广应用。