差分真空系统控制装置及差分真空系统
Abstract:
本发明涉及一种差分真空系统控制装置及差分真空系统,所述差分真空系统控制装置包括:阀体,所述阀体设有穿孔,所述阀体用于安装在腔体的外壁上,所述穿孔与腔室连通;阀门组件,所述阀门组件包括阀杆、阀板、旋钮及阀套,所述阀套连接于所述阀体上,所述阀杆穿过所述阀套与所述穿孔伸入所述腔室中,所述旋钮与所述阀杆传动配合,所述阀板与所述阀杆远离所述旋钮的一端连接,所述旋钮驱使所述阀杆沿高度方向运动,使得所述离子源腔室与质量分析器腔室之间切换连通或隔离状态。如此操作方式能够有效缩短质谱仪器维修后的再开机时间,一并节约人力、能源、机器损耗成本,结构加工简单、操作方便、对腔内真空环境无污染。
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