Invention Grant
- Patent Title: 差分真空系统控制装置及差分真空系统
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Application No.: CN202210644692.8Application Date: 2022-06-09
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Publication No.: CN114999892BPublication Date: 2025-04-29
- Inventor: 张志浩 , 封荣贵 , 谭国斌 , 许春华 , 苏亮 , 麦泽彬
- Applicant: 广州禾信仪器股份有限公司
- Applicant Address: 广东省广州市黄埔区新瑞路16号
- Assignee: 广州禾信仪器股份有限公司
- Current Assignee: 广州禾信仪器股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省广州市黄埔区新瑞路16号
- Agency: 华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 江海浪
- Main IPC: H01J49/10
- IPC: H01J49/10 ; H01J49/24 ; H01J49/26

Abstract:
本发明涉及一种差分真空系统控制装置及差分真空系统,所述差分真空系统控制装置包括:阀体,所述阀体设有穿孔,所述阀体用于安装在腔体的外壁上,所述穿孔与腔室连通;阀门组件,所述阀门组件包括阀杆、阀板、旋钮及阀套,所述阀套连接于所述阀体上,所述阀杆穿过所述阀套与所述穿孔伸入所述腔室中,所述旋钮与所述阀杆传动配合,所述阀板与所述阀杆远离所述旋钮的一端连接,所述旋钮驱使所述阀杆沿高度方向运动,使得所述离子源腔室与质量分析器腔室之间切换连通或隔离状态。如此操作方式能够有效缩短质谱仪器维修后的再开机时间,一并节约人力、能源、机器损耗成本,结构加工简单、操作方便、对腔内真空环境无污染。
Public/Granted literature
- CN114999892A 差分真空系统控制装置及差分真空系统 Public/Granted day:2022-09-02
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