Invention Publication
- Patent Title: 一种快速真空分压力测量装置及方法
-
Application No.: CN202111598491.0Application Date: 2021-12-24
-
Publication No.: CN114674486APublication Date: 2022-06-28
- Inventor: 代虎 , 李得天 , 贾露娟 , 郭睿 , 刘志栋 , 陈江 , 涂建辉 , 杨炜 , 赵蕾
- Applicant: 兰州空间技术物理研究所
- Applicant Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee: 兰州空间技术物理研究所
- Current Assignee Address: 甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号
- Agency: 北京理工大学专利中心
- Agent 代丽
- Main IPC: G01L11/02
- IPC: G01L11/02 ; G01N21/39
Abstract:
本发明公开了一种快速真空分压力测量装置及方法。本发明利用可调谐窄线宽激光器配合电光调制方法产生光学频率梳，极大地降低了真空分压力测量系统的成本，同时采用声光移频装置将外差干涉信号的中心频率移至高频，使整个干涉光谱信号能够被完整复原，并采用光强监测支路记录拍频光强抖动信息，补偿光强抖动带来的强度误差，实现光谱吸收峰精准测量。本发明能够快速实现真空分压力的测量，且成本低、精度高、量程宽。
Public/Granted literature
- CN114674486B 一种快速真空分压力测量装置及方法 Public/Granted day:2023-06-20
Information query
