Invention Publication
CN114666965A 等离子体处理装置
审中-实审
- Patent Title: 等离子体处理装置
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Application No.: CN202210269625.2Application Date: 2017-06-27
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Publication No.: CN114666965APublication Date: 2022-06-24
- Inventor: 井上忠 , 田名部正治 , 关谷一成 , 笹本浩 , 佐藤辰宪 , 土屋信昭
- Applicant: 佳能安内华股份有限公司
- Applicant Address: 日本神奈川
- Assignee: 佳能安内华股份有限公司
- Current Assignee: 佳能安内华股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本神奈川
- Agency: 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- Agent 程晨
- Main IPC: H05H1/46
- IPC: H05H1/46 ; C23C16/505 ; H01J37/34 ; H05H1/34 ; H05H1/36
Abstract:
等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配置为经由阻抗匹配电路和巴伦向第一电极供给高频；低通滤波器；以及第二电源，被配置为经由低通滤波器向第一电极供给电压。
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IPC分类:
