本发明属于氧化亚硅的制备技术领域，公开一种氧化亚硅的制备方法以及实现该方法的制备装置。制备方法：将硅粉与二氧化硅溶胶搅拌混合均匀，凝胶前持续搅拌，直至出现凝胶状态后，停止搅拌，待完全形成凝胶后，干燥得到混合物料；将混合物料在真空氛围下进行第一次加热处理，第一次加热处理的同时将生成的气体送去进行第一次冷凝，收集，得到成品1#氧化亚硅。制备装置包括第一加热装置、第一冷凝收集装置，第一加热装置、第一冷凝收集装置之间通过密封连接管及其附属阀门连通；第一加热装置顶部设有第一过滤挡板，第一冷凝收集装置内腔设有第一刮粉装置，第一加热装置外部连接有抽真空装置。本发明制备的氧化亚硅纯度较高，达到99.9%以上。