本发明涉及一种超高温超高压再热干熄焦余热发电系统及工艺，所述系统包括超高温超高压干熄焦锅炉、超高温超高压汽轮发电机组、多级减温减压装置及冷凝器；所述超高温超高压干熄焦锅炉由干熄焦锅炉汽包、一次过热器、二次过热器、一次再热器、二次再热器组成，所述超高温超高压汽轮发电机组由高压缸、中低压缸、汽轮发电机组成；所述多级减温减压装置由一级～五级减温减压装置组成；本发明实现了超高温超高压干熄焦锅炉配套超高温超高压汽轮发电机组的干熄焦余热发电技术的重大突破，能够有效防止再热器干烧，保护再热器，同时能够最大限度的提高干熄焦余热发电量，创造良好的经济效益，降低企业吨焦能耗。