本发明提供了一种电子级三氟化氯的充装装置及其充装方法。装置包括：罐装单元，包括充装罐，以及用于检测充装罐重量的电子秤以及用于给充装罐降温的降温组件；充装检测单元，分别与充装罐连接的三氟化氯供应管路、氟气供应管路、氮气供应管路以及排空检测管路，设置于各个管路中的过滤器以及自动阀门；防护单元，包括用于容置充装检测单元的内防护层、外防护层、冷凝组件、惰性气体入口、惰性气体出口，内防护层以及外防护层之间形成容置惰性气体的保护腔，冷凝组件设置于保护腔中，惰性气体入口以及惰性气体出口分别与保护腔联通。