本发明涉及一种间隙原子在高熵合金中的扩散行为的计算方法。包括：定量化计算出合金元素在亚晶格上的占位倾向性，建立原子占位有序化晶胞模型；对晶胞模型先进行体积优化和后进行原子位置优化；通过比较间隙原子占据八面体或四面体间隙位置时体系的总能，根据能量最低原理，总能越低则结构越稳定，确定间隙原子占据的稳定态位置；设计扩散路径，让原子沿指定方向进行扩散；确定扩散路径后，使用NEB方法在两个相邻间隙撒点计算；计算原子在高熵合金间隙中的扩散行为，获得不同扩散路径上的扩散能垒、扩散系数等参数。本发明普适性强，为定量化研究高熵合金间隙固溶原子扩散是否存在迟滞扩散效应，及高熵合金性能计算奠定了坚实的基础。