本发明提供一种在以感应耦合等离子体质量分析装置分析包含金属微粒的样品时，可在不需要作为标准的金属微粒的情况下进行分析的方法。本发明涉及一种金属微粒的分析方法，其使用感应耦合等离子体质量分析装置的液体中的金属微粒的分析方法，其中，该分析装置中设有由下述手段所构成的标准溶液导入装置：标准溶液储存手段，储存包含已知浓度的特定元素的标准溶液；注射泵，将标准溶液吸引及吐出；溶液导入手段，具有供给标准溶液的标准溶液用雾化器与标准溶液用喷雾腔室；以3μL/min以下的流量将标准溶液直接供给至标准溶液用雾化器，根据从检测器所得到的标准溶液信号强度与所导入的特定元素的物理量，算出源自特定元素的金属微粒的粒径值。