本申请提出一种Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜，该方法包括在获取最低本底压强时进行蒸发镀膜，采用45A的第一沉积电流，在200摄氏度～300摄氏度之间的第一沉积温度，在60分钟～90分钟之内的第一沉积时间升华Ti金属丝，从而向被镀表面沉积Ti元素，形成底层薄膜；在完成向被镀表面沉积Ti元素的同时，采用45A的第二沉积电流，在100摄氏度～180摄氏度之间的第二沉积温度，20分钟的第二沉积时间升华Pd金属丝，从而向底层薄膜沉积Pd元素，在底层薄膜的表面形成表层薄膜。能够在制备Pd/Ti双层吸气剂薄膜时避免破坏超高真空，从而兼顾了超高真空的维持和Pd/Ti双层吸气剂薄膜的低激活温度，辅助提升制备设备的泵送速度，提升Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备效果。